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產(chǎn)品分類
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
技術(shù)特點(diǎn)：
● 可帶框架磨削異形片，**可對(duì)應(yīng) 8 英寸的框架；粗磨精磨軌跡統(tǒng)一，提高加工質(zhì)量穩(wěn)定性；
● 雙主軸三工位自動(dòng)減薄機(jī)，粗磨精磨磨削同時(shí)進(jìn)行，加工效率大幅度提高；可選配單測(cè)頭式測(cè)量?jī)x和雙測(cè)頭測(cè)量?jī)x。
性能指標(biāo)：
| WG-8500自動(dòng)減薄機(jī) | |||
| 磨削方式 | 通過旋轉(zhuǎn)晶圓，實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削 | ||
| 結(jié)構(gòu)方式 | 1根主軸, 3個(gè)承片臺(tái),1回轉(zhuǎn)工作臺(tái) | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.?200(Φ4″-Φ8″) | |
| 磨輪直徑 | mm | Φ200 | |
| 主軸 | 主軸數(shù)量 | - | 2 |
| 主軸功率 | KW | 4.2/5.5 | |
| 主軸轉(zhuǎn)速 | rpm | 1000-6000 | |
| Z軸行程 | mm | 120 | |
| Z軸分辨率 | μm | 0.1 | |
| 承片臺(tái) | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片臺(tái)類型 | - | 多孔陶瓷式（6/8寸兼容） | |
| 轉(zhuǎn)速 | rpm | 0-300 | |
| 承片臺(tái)數(shù)量 | 套 | 3 | |
| 減薄精度 | 片內(nèi)厚度偏差 | μm | ≤3 |
| 片間厚度偏差 | μm | ≤±3 | |
| 表面粗糙度斤 | μm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
| 測(cè)量?jī)x | 測(cè)量范圍 | μm | 0-1800（選配） |
| 分辨率 | μm | 0.1（選配） | |
| 重復(fù)精度 | μm | ±0.5（選配） | |
| 設(shè)備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1200×1800×1950 |
| 設(shè)備重量 | kg | 約3300 | |
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