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TSU650高真空多功能鍍膜系統(tǒng)品牌
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一、功能描述：
特點(diǎn)/用途
該系統(tǒng)為高真空新型陰極弧源 +磁控濺射+離子源及直流脈沖偏壓電源輔助聯(lián)合鍍膜系統(tǒng)，該系統(tǒng)廣泛用于精密刀具和模具或軸承等外表面內(nèi)表面上沉積高性能耐磨擦、耐腐蝕陶瓷、金屬功能導(dǎo)電薄膜等，如TiAlN、TiN、Cu、Al、ITO等；
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