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-分辨率:
-重現(xiàn)性:
-分散方式:
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Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀 PFS
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀,專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā),支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集,精準(zhǔn)測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng),幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級,為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
數(shù)據(jù)輸出及可視化:符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)
高通量檢測:可檢測低至 0.5 um 顆粒
快速:10 秒完成 2 英寸面積檢測
定量:適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測
生產(chǎn)過程中的一致性測量
快速: 秒級連續(xù)監(jiān)測
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測
易操作: 操作員簡單培訓(xùn)即可使用
精準(zhǔn): 高分辨率測量(數(shù)量、時(shí)間線、位置、尺寸)
一致性: 可重復(fù)的客觀測量結(jié)果
高吞吐量: 現(xiàn)場實(shí)時(shí)分析
監(jiān)測顆粒沉積速率(DPRL)
Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時(shí)監(jiān)控儀(PFS)采用緊湊的工 業(yè)設(shè)計(jì),依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn),監(jiān)測顆 粒沉積速率(DPRL)。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r(shí) 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。
在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測
區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測空氣懸浮顆粒,該系統(tǒng)可以對關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗(yàn)證進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測。 亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中,它們可能沉積于關(guān) 鍵表面,影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。
該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒,并可每 隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進(jìn)行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5(通過 NIST 認(rèn)證),并準(zhǔn)確量化 沉降速率。 軟件界面簡單直觀,可以一鍵生成報(bào)告。
Fastmicro PFS 是 唯 一 一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器,幫 助 工 程 師 應(yīng) 對潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。
結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡,可以 便捷高效的進(jìn)一步對顆粒物進(jìn)行成分表征和溯源分析。
暫無數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此,潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),而控制
2020-12-21
2020-12-21
科技浪潮下的電鏡革新,呈現(xiàn)雙軌發(fā)展趨勢:一軌駛向極致,前沿透射電鏡不斷突破觀測極限;另一軌通向普及,操作便捷、臺式小型化的設(shè)備越來越受科研人員的青睞。曾是頂尖團(tuán)隊(duì)或大型電鏡中心的“專屬”設(shè)備,如今正逐
鋰電池失效分析隨著新能源技術(shù)的飛速發(fā)展,鋰電池已成為現(xiàn)代科技不可或缺的一部分,廣泛應(yīng)用于從便攜式電子設(shè)備到電動(dòng)汽車的各個(gè)領(lǐng)域。然而,鋰電池的失效問題一直是行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。失效不僅影響設(shè)備的性能和使用壽
Chapter 1研究背景與意義在催化領(lǐng)域,精準(zhǔn)控制金屬納米顆粒的尺寸與形貌是提升催化性能的核心策略之一。傳統(tǒng)研究多聚焦于防止貴金屬的燒結(jié)失活,而對如何主動(dòng)促進(jìn)過渡金屬燒結(jié)以獲取更大顆粒的研究卻相對匱
生物樣品最佳觀察時(shí)間往往稍縱即逝,而傳統(tǒng)透射電鏡(TEM)的漫長檔期讓關(guān)鍵研究被迫等待,亞納米級分辨率雖強(qiáng),卻難解燃眉之急。Pharos STEM 臺式場發(fā)射生物電鏡——把實(shí)驗(yàn)室級分辨率,裝
摘要:隨著汽車工業(yè)對質(zhì)量與可靠性的要求日益提升,汽車清潔度檢測已成為保障關(guān)鍵零部件穩(wěn)定運(yùn)行的核心環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)方法難以滿足對微小顆粒的識別需求,因此,先進(jìn)的掃描電鏡(SEM)技術(shù)正被廣泛應(yīng)用于清潔度分析領(lǐng)
掃描電鏡(SEM, Scanning Electron Microscope)作為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的高精度檢測工具,憑借其納米級分辨率和強(qiáng)大的表征能力,已廣泛應(yīng)用于芯片制造、材料開發(fā)、失效分析、工