測量范圍:
夠檢測 ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)誤差率:
-分辨率:
100nm重現(xiàn)性:
-分散方式:
-測量時間:
可在數(shù)秒內(nèi)完成 4 至 12 英寸掩膜版|保護膜成像看了掩膜版|保護膜表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)的用戶又看了
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Fastmicro 掩膜版|保護膜表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)
為掩膜版、掩膜版保護膜以及基板(襯底)制造工藝,提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。
該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高效且提供全方位服務(wù)的選擇。它能以手動或自動的操作方式,以及較低的維護成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點:
高通量檢測:每小時可檢測 400 片晶圓(WPH)
數(shù)據(jù)輸出:根據(jù) ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn),在用戶界面和 PDF 報告輸出 SCP 等級
正反兩面檢測:單次測量中完成正反兩面檢測(無需翻轉(zhuǎn))
檢測范圍:能夠檢測 ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠(PSL)等效顆粒(經(jīng) NIST 認(rèn)證)
生產(chǎn)過程中的一致性測量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的質(zhì)量鑒定與監(jiān)測
操作簡便: 不受操作人員影響,自動化,潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測量(數(shù)量、位置、尺寸)
一致性: 每次測量都保持客觀、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進封裝應(yīng) 用,提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù)。
該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動或自動的操作方式,以及 較低的維護成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。
對于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用, PDS 系統(tǒng)具備獨特的屬性:雙面同 時掃描(選配);
靜態(tài)視場掃描(在圖像采集過程中無需移動產(chǎn)品)。
暫無數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,每日早七點至晚八點,包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因為新能源汽車車牌較容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,因此帶動了新能
2020-12-21
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2020-12-21
2020-12-21
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2025 年 6 月 19 - 20 日,飛納電鏡線下用戶培訓(xùn)會在著名古城武漢成功舉辦。本次培訓(xùn)會吸引了來自高校、科研機構(gòu)和企業(yè)的用戶參與,為大家提供了一個深入學(xué)習(xí)飛納電鏡操作與應(yīng)用的絕佳平臺。培訓(xùn)會
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掃描電鏡(SEM, Scanning Electron Microscope)作為半導(dǎo)體行業(yè)中不可或缺的高精度檢測工具,憑借其納米級分辨率和強大的表征能力,已廣泛應(yīng)用于芯片制造、材料開發(fā)、失效分析、工
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