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澤攸科技壓電驅動技術突破:雙模式電機實現(xiàn)從毫米級到納米級的無縫精密運動

澤攸科技壓電驅動技術突破:雙模式電機實現(xiàn)從毫米級到納米級的無縫精密運動
澤攸科技  2025-08-27  |  閱讀:30

壓電超聲電機(USM)利用壓電材料的逆壓電效應,通過高頻結構振動共振模式實現(xiàn)驅動,具有無齒輪直驅、響應迅速、定位精度高、斷電自鎖、無電磁干擾以及易于微型化等顯著優(yōu)勢,因此在高精度微機電系統(tǒng)、生物醫(yī)療設備、機器人手臂、顯微鏡平臺和精密手術器械等領域展現(xiàn)出巨大的應用潛力。這類電機能夠實現(xiàn)高達每秒數(shù)米的運行速度,遠超其他類型的壓電電機,如慣性電機、尺蠖電機等。盡管其高速性能優(yōu)異,但當需要在極低速度下進行平穩(wěn)、精確的納米級定位時,傳統(tǒng)的超聲電機卻面臨著嚴峻挑戰(zhàn)。其根本原因在于,電機在共振模式下工作時,定子的高頻振動、摩擦界面的接觸-分離動態(tài)以及復雜的粘滑摩擦效應共同導致了強烈的非線性行為。這種非線性使得電機在開環(huán)控制下極難實現(xiàn)低于1毫米/秒的穩(wěn)定勻速運動,速度波動大,且存在控制“死區(qū)”,嚴重制約了其在需要超低速平滑運動場景中的應用。


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為解決低速穩(wěn)定性問題,研究者們嘗試了多種先進控制策略,如模糊PID控制、死區(qū)非線性補償以及雙頻同步驅動等,這些方法雖在一定程度上提升了低速可控性,但往往依賴復雜的閉環(huán)控制系統(tǒng),增加了成本和復雜性,并且對長期、大行程的運動穩(wěn)定性報道較少。另一種思路是采用慣性式粘滑驅動,通過施加鋸齒波電壓,利用壓電體的快速伸縮和負載慣性來實現(xiàn)微步進運動,理論上可達到亞納米級分辨率。但是傳統(tǒng)的慣性電機通常基于單一的彎曲變形,其機電耦合效率低,輸出功率有限,且在“滑”階段普遍存在回退現(xiàn)象(backlash),導致運動不連續(xù)和速度波動,影響了運動的平滑性。此外,隨著摩擦界面因磨損而變得粗糙,基于共振的精密控制變得更加困難。因此,如何設計一種既能保持超聲電機高效率、大推力優(yōu)勢,又能無需復雜閉環(huán)控制即可實現(xiàn)超低速、高平滑度、無回退運動的新型驅動機制,成為推動高精度壓電電機發(fā)展的關鍵難題。


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針對上述問題,由南京航空航天大學與澤攸科技等單位合作,提出了一種基于多層壓電陶瓷的雙機制直線電機,通過結合共振模式下的高頻橢圓運動實現(xiàn)高速大推力驅動,以及非共振模式下的慣性驅動實現(xiàn)無需閉環(huán)控制的超低速平穩(wěn)運動,從而顯著提升了電機在低速范圍內(nèi)的穩(wěn)定性和平滑性。相關成果以“Improvement of low-speed stability in a multilayer piezoelectric linear motor by inertial driving”為題發(fā)表在《Review of Scientific Instruments》期刊上


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該論文的核心研究內(nèi)容是開發(fā)并驗證一種新型的多層壓電陶瓷直線電機,旨在解決傳統(tǒng)壓電超聲電機在低速運行時穩(wěn)定性差、難以實現(xiàn)平滑勻速運動的難題。研究團隊提出了一種創(chuàng)新的“雙機制”驅動策略,將高速共振驅動與低速非共振慣性驅動集成于單一電機結構中。在高速運行時,電機工作在47 kHz的共振模式,通過激發(fā)壓電板的第一縱向(L1)和第二彎曲(B2)模態(tài),利用其摩擦端的橢圓軌跡運動,實現(xiàn)了高達290 mm/s的快速直線運動和超過4.5 N的堵轉力,性能可與商用高壓驅動的同類電機媲美,且僅需30 Vpp的低電壓驅動。


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圖  通過有限元法(FEM)模擬的矩形壓電板的振動模態(tài)形狀:(a) 面內(nèi)B1模態(tài),(b) 面內(nèi)B2模態(tài),(c) L1模態(tài)


當需要進行超精密的低速定位時,電機切換到非共振的慣性驅動模式。通過施加具有快速上升、緩慢下降特性的鋸齒波電壓,利用壓電陶瓷的d31效應產(chǎn)生快速的縱向收縮和彎曲變形。這種耦合變形在電壓快速上升的“滑”階段,能瞬時分離摩擦界面,有效抑制了傳統(tǒng)慣性電機中因摩擦滯后導致的回退現(xiàn)象(backlash)。實驗結果表明,在45 Vpp的驅動電壓下,該電機可以在10 μm/s至超過10 mm/s的寬廣速度范圍內(nèi),以開環(huán)控制的方式實現(xiàn)極其平穩(wěn)、連續(xù)的運動,速度波動極小,顯著提升了低速運行的穩(wěn)定性和平滑度。


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圖 多層壓電板的電極結構


為了進一步提升電機性能,研究還探討了雙定子對稱驅動結構。通過將兩個相同的定子對稱組裝并同時驅動滑塊,有效補償了單定子結構因機械不對稱性導致的正反向運動速度差異,大大提高了雙向運動的均勻性。研究還分析了負載對低速步進性能的影響,表明在輕載條件下能實現(xiàn)平滑運動,但重載會引入速度尖峰,指出了未來改進的方向。通過與多種現(xiàn)有壓電電機的性能對比,該研究設計的電機在最大速度、低速平滑性、雙向對稱性和預緊機制等方面展現(xiàn)出綜合優(yōu)勢。


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圖 制成的壓電直線電機的照片


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圖 制成的雙定子電機的照片


該研究通過精巧的機電設計,成功地將兩種看似矛盾的驅動模式融合,創(chuàng)造了一種既能“跑得快”又能“走得穩(wěn)”的多功能壓電電機。這種雙模式運行能力,使其既能滿足高效率的快速移動需求,又能實現(xiàn)無需復雜閉環(huán)反饋的超低速納米級精密定位,為高精度儀器、生物醫(yī)療設備和微納操作系統(tǒng)提供了一種極具前景的新型驅動解決方案。

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