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PD-600Q射頻等離子清洗機品牌
普迪真空產(chǎn)地
湖北樣本
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產(chǎn)品摘要
等離子清洗是一種輕微的刻蝕,等離子體的表面清洗能很快去除金屬表面的油脂、油污等有機物和氧化層,在進行濺射、油漆、粘合、鍵合、焊接、銅焊、PVD、VCD和涂覆前,用等離子處理能得到完全的潔凈和無氧化層的表面。
產(chǎn)品介紹
★整機外形尺寸:L750×W1000×H1800(mm)
★反應腔尺寸:520×520×H600(mm),約150L)
★清潔尺寸:500×500mm
★射頻電源:13.56MHz,600W
★氣體流量控制:1-2路質(zhì)量流量控制器(0~500SCCM)
★工作氣體:氧、氬氣,另提供一路氮氣用于冷卻樣品(高純,用戶自備)
★壓縮空氣:接口壓力大于0.5MPa(用戶自備)
★真空抽氣及測量系統(tǒng):配備一臺8L機械泵,抽氣管道采用不銹鋼真空波紋管,
★控制方式:采用10寸觸摸屏+PLC組成的人機界面控制方式,操作方式包括手動模式或自動模式,在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理,可同時存儲100組不同配方。使用時只需將相應配方號調(diào)出即可。
暫無數(shù)據(jù)!