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一、產(chǎn)品簡介

EM69系列掃描電子顯微鏡成像質(zhì)量出色、拓展性豐富、兼容低真空模塊、自動功能強大，結(jié)合眾多自動化功能，可幫助您在材料科學(xué)、生命科學(xué)或工業(yè)領(lǐng)域等進行科學(xué)研究及失效分析。

二、產(chǎn)品特點

兼容低真空模塊

選配多功能超大樣品倉

豐富的自動化功能

大視野導(dǎo)航相機

支持定制化

拓展豐富

三、技術(shù)參數(shù)

四、產(chǎn)品功能

1、預(yù)抽室-LoadLock

· 樣品直徑≤75mm；高≤15mm

· 換樣時間：≤2min

· 換樣桿配備鎖定功能，防脫落

2、多功能精密調(diào)節(jié)模塊

· 放大倍數(shù)粗調(diào)及細調(diào) · 電對中

· 聚焦調(diào)節(jié) · 消像散調(diào)節(jié)

· 亮度及對比度調(diào)節(jié) · 電位移調(diào)節(jié)等

3 不同探測器同時成像

· 顯示SE，BSE 雙通道圖像

· 可任意設(shè)置不同探

· BSE探測器，反應(yīng)樣品表面的成分特征

4 大圖拼接

· 樣品區(qū)全域視場矩陣自動規(guī)劃，拍照流程無需人工干預(yù)

· 百千張級數(shù)據(jù)量快速拼接實時預(yù)覽，構(gòu)建全域清晰掃描大圖

5 粒度分析

采用深度學(xué)習(xí)的復(fù)合圖像處理算法，自動識別比例尺，精準識別圖像中的顆粒，多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計與導(dǎo)出，

摻鋁碳酸鈷

多種形態(tài)參數(shù)結(jié)果

多種形態(tài)數(shù)據(jù)輸出

6 關(guān)鍵尺寸測量

具備距離，角度，水平線/垂直線/圓徑測算等，豐富的圖像測量功能

7電子束曝光

l 功能：基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)（EBL），能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進的電子束掃描控制技術(shù)，支持靈活多樣的圖案設(shè)計和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測功能，這使得用戶可以在同一臺設(shè)備上完成樣品的觀測和加工，提高了工作效率和便利性。

l 應(yīng)用場景

科研教學(xué)

微電子制造

原型器件開發(fā)

納米材料制備

生物醫(yī)療研究