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具有高產(chǎn)、可靠和穩(wěn)定的性能。通過高精度的溫度控制技術(shù)、良好的均勻性和小顆?？刂?，來保持優(yōu)異的薄膜質(zhì)量；
通過更高性能的增強(qiáng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)能，并減少停機(jī)維護(hù)時間；
運(yùn)用氣體對腔體進(jìn)行干法清洗，來控制小顆粒雜質(zhì)；
裝載區(qū)運(yùn)用低氧控制技術(shù)以抑制晶圓表面的自然氧化。
可以一次性操作裝載的晶圓數(shù)量為50-125片（晶圓/批）
可配備快速升降溫控制系統(tǒng)
腔體原位干法清洗系統(tǒng)
暫無數(shù)據(jù)！
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