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涂膠設(shè)備
涂膠設(shè)備

參考價格

面議

型號

涂膠設(shè)備

品牌

盛美半導(dǎo)體

產(chǎn)地

美國

樣本

暫無
盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

會員

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第2年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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    其他
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? 可選配HMDS

? 涂膠

? 前烘

主要優(yōu)勢

創(chuàng)新的雙層旋涂方法

精確的涂膠厚度和均一性控制

腔體自動清洗功能

先進的熱/冷盤模塊

技術(shù)先進,使用便捷


特性和規(guī)格

兼容8英寸和12英寸晶片

可配*多四個涂膠腔體,并配置腔體自清洗功能

每個涂膠腔體可配有兩種光刻膠噴嘴

去邊(EBR)噴嘴, 預(yù)濕噴嘴, 正背面清洗噴嘴

2到8個熱盤,2到6個冷卻盤,1到2個HMDS模塊


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性價比

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