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半導體電子顯微鏡
半導體電子顯微鏡

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半導體電子顯微鏡

1997年FEI和飛利浦電子光學宣布合并其全球業(yè)務(wù)
2008年臺式掃描電子顯微鏡飛納(Phenom)進入中國市場
2012年飛納(Phenom)臺式掃描電鏡全球銷zui突破2000臺
2013年飛納(Phenom)發(fā)布第三代臺式掃描電鏡,放大倍數(shù)
10萬倍,分辨率優(yōu)于17nm

 半導體電子顯微鏡

17世紀荷蘭光學天才:Antoni van

 Leeuwenhoek設(shè)計并制造世界

*臺光學顯微鏡

 

 

 

 

 

 

19世紀Anton和Gerard Philips在荷蘭埃因霍溫創(chuàng)建

        了飛利浦公司

1947年LePoole教授為Dorgelo教授展示荷蘭*臺掃描電子顯微鏡

 

飛納(Phenom)主要特點

一長壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲

一表面細節(jié)豐富的高質(zhì)量圖片

一內(nèi)置彩色光學顯微鏡

一自動馬達樣品臺

一30秒快速成像,操作簡單

一光學與低倍電子雙重導航

一防震設(shè)計,對放置環(huán)境無牛條殊要求

一樣品倉低真空技術(shù),直接觀測絕緣體,}c需噴金

一四分割高靈敏度背散射電子探頭,兼得樣品表面

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