中國粉體網(wǎng)訊 在原始晶圓生產(chǎn)中,切片的原始晶圓表面可能會有切割痕跡,而且由于其晶體結(jié)構(gòu),邊緣非常脆弱。為了獲得光亮的表面光潔度和平滑的晶片邊緣,對晶圓邊緣拋光尤其重要。拋光完畢后,測量晶圓外緣的幾何形狀并檢測缺陷,可避免在后[更多]
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