推薦晶圓邊緣的缺陷挑戰(zhàn)，值得重視！

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 在原始晶圓生產(chǎn)中，切片的原始晶圓表面可能會(huì)有切割痕跡，而且由于其晶體結(jié)構(gòu)，邊緣非常脆弱。為了獲得光亮的表面光潔度和平滑的晶片邊緣，對(duì)晶圓邊緣拋光尤其重要。拋光完畢后，測(cè)量晶圓外緣的幾何形狀并檢測(cè)缺陷，可避免在后[更多]