推薦一打聽(tīng)嚇一跳，生產(chǎn)一枚芯片竟需要拋光30多次？

中國(guó)粉體網(wǎng)訊化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是半導(dǎo)體晶片表面加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。該技術(shù)綜合了拋光液的化學(xué)腐蝕作用和磨粒及拋光墊的機(jī)械去除作用，以實(shí)現(xiàn)拋光后工件表面的良好質(zhì)量、無(wú)損傷和高面形精度。徐嘉慧等，硅片化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的研究進(jìn)展從20[更多]