推薦國產(chǎn)碳化硅外延設(shè)備“打的火熱”

中國粉體網(wǎng)訊 外延工藝是整個碳化硅產(chǎn)業(yè)中非常關(guān)鍵的一環(huán)，所有的器件基本上都是在外延上實(shí)現(xiàn)，所以外延的質(zhì)量對器件的性能是影響非常大，同時(shí)外延的質(zhì)量又受到晶體和襯底加工的影響，所以外延環(huán)節(jié)在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中起到承上啟下的關(guān)鍵作用。[更多]