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Parylene 派瑞林涂層技術:

Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料,學名是聚對二甲苯,通過一種特別的化學氣相沉積(CVD)工藝涂覆在物體表面。這個過程在室溫、真空環(huán)境下進行,生成的薄膜具有高度的保形性(能均勻夏蓋復雜形狀、銳邊、縫隙和針孔)、無針孔、透明、生物相容性好、化學惰性強、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能(防潮、防腐蝕氣體、防鹽零等)。

Parylene派瑞林真空鍍膜設備廣泛應用于多個行業(yè),包括航天航空、半導體、新能源、**、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領域。通過Parylene涂數(shù)后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢:

1、在真空腔體中集成等離子源

2、兼容超凈間的系統(tǒng)設計

3、經(jīng)過驗證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程4、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā),到全面的耗材、備件供應以及長期的技術支持服務我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領域的工業(yè)機型。同時,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設計,在小占地面積下提供高性能技術,節(jié)約大量的超凈間占地空間。

相關型號:

PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設備,配備多種可選裝置與附加組件,旨在確保涂層工藝的成功實施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置:

可定制腔體尺寸

支持選配等離子體源

配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)

Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設計的系統(tǒng),主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設備均采用此類模塊化設計,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整。其中,“3000”代表產(chǎn)品系列,而“[V300”則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設計主要取決于您單次運行中需要涂瘦的基板尺寸及數(shù)量要求。 我們所提供的腔室**容積可達 1000升。此外,該系統(tǒng)標配等離子源,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3個質(zhì)量流量控制器,以滿足不同氣體入口的需求,