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作為中微公司自主研發(fā)的產(chǎn)出效率高且性能優(yōu)秀的12英寸CVD金屬鎢設(shè)備，Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達(dá)五個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)的反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔皆能同時(shí)加工兩片晶圓，在保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)較高的生產(chǎn)效率。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案,自主設(shè)計(jì)優(yōu)化的分氣抽氣系統(tǒng)和真空卡盤，具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調(diào)節(jié)靈活性，對于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿足先進(jìn)邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應(yīng)用需求。
雙反應(yīng)臺(tái)及多達(dá)五個(gè)反應(yīng)腔的系統(tǒng)
獨(dú)立小巧的反應(yīng)空間
高效靈活的工藝調(diào)節(jié)窗口
自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案
自主設(shè)計(jì)的優(yōu)化氣體分配的抽氣系統(tǒng)
自主設(shè)計(jì)的優(yōu)化真空卡盤的加熱臺(tái)
高生產(chǎn)效率，低生產(chǎn)成本，低化學(xué)品消耗 優(yōu)秀的薄膜均一性和填充能力 優(yōu)秀的工藝適應(yīng)性和兼容性 對彎曲度較大的晶圓也具有良好的工藝處理能力競爭優(yōu)勢
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