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WG-1281全自動減薄機品牌
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技術(shù)特點
●使用 CCD 相機的非接觸式晶圓定心機構(gòu)，優(yōu)化加工點布局實現(xiàn)高精度磨削；自動調(diào)整承片臺傾斜角，有效減少校正停機時間；
●雙主軸三工位全自動減薄機，磨削時不對外圓周施加負荷，能有效降低晶圓翹曲，提高晶圓強度，降低碎片率，提高晶圓處理的便利性。具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。采用霧化噴嘴技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)強力清潔。
性能指標
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