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熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450

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型號

熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450

品牌

北京泰科諾

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京泰科諾科技有限公司

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設(shè)備名稱:熱絲 CVD 金剛石膜沉積設(shè)備

設(shè)備型號:HF450

真空腔室結(jié)構(gòu):立式前開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷

真空腔室尺寸:Φ450mmxH500mm

真空系統(tǒng):復(fù)合分子泵高真空系統(tǒng)

基片臺尺寸:Φ100mm

襯底溫度:600 ~ 1100℃

電源:專用熱絲電源 400A, 恒流或恒功率模式

氣路控制:4 路氣體流量控制

控制方式:PLC 觸摸屏控制

占地面積:主機 L1200mm×W1060mm×H1900mm

總功率:≥ 20kW


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