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掃描電鏡下的多層壓電陶瓷材料分析

掃描電鏡下的多層壓電陶瓷材料分析
復(fù)納科技  2021/01/15  |  閱讀:2905
產(chǎn)品配置單:
方案詳情:

壓電陶瓷片,是一種應(yīng)用廣泛的電子陶瓷材料,能夠?qū)崿F(xiàn)機械能與電能的相互轉(zhuǎn)化。例如,壓電陶瓷蜂鳴片,由壓電陶瓷片和金屬震動板粘粘而成,由振蕩電路激勵,通過逆壓電效應(yīng),壓電陶瓷片產(chǎn)生一相對應(yīng)的形變即振動,當(dāng)振動頻率在音頻波段內(nèi)時就會發(fā)出對應(yīng)的音響。壓電陶瓷蜂鳴片廣泛應(yīng)用于電子鐘表、汽車喇叭、音響、通訊、遙感、計算器,電子玩具等產(chǎn)品。

 

單層壓電陶瓷,在壓電陶瓷兩面涂覆導(dǎo)電電極

 

壓電蜂鳴片與壓電蜂鳴器示意圖

 

相比于單層壓電陶瓷,多層壓電陶瓷具有低壓驅(qū)動、薄型化,高功率密度等優(yōu)點,因此有更大的應(yīng)價值。

 

多層壓電陶瓷,由 9 層壓電陶瓷構(gòu)成

 

低溫共燒多層壓電陶瓷具有驅(qū)動電壓低,器件可靠性高,位移量大,易于集成化等優(yōu)點,且采用低溫共燒技術(shù),相比于傳統(tǒng)的粘接技術(shù),會改善元件的電學(xué)和機械特性。

 

多層壓電陶瓷結(jié)構(gòu)示意圖

 

多層壓電陶瓷由數(shù)層壓電材料組成,與內(nèi)部電極交錯排列。內(nèi)部電極相繼定位為正極和負極,所有正電極都連接到組件一側(cè)的一個外部電極。負極連接在組件的另一側(cè)。與單層壓電陶瓷相比,多層壓電陶瓷的很大優(yōu)勢在于,在實現(xiàn)與單層壓電陶瓷相同的位移時,可以減少施加的電壓。單層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù) d33 乘以電壓,多層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù) d33 乘以電壓乘以層數(shù)。

 

掃描隧道顯微鏡(STEM)使用了壓電陶瓷技術(shù),掃描隧道顯微鏡要控制針尖在樣品表面進行高精度的掃描,用普通機械的控制是很難達到這一要求的。壓電陶瓷材料能以簡單的方式將 1mV-1000V 的電壓信號轉(zhuǎn)換成十幾分之一納米到幾微米的位移。

 

多層壓電陶瓷器件品質(zhì)要求較高,其內(nèi)部多層結(jié)構(gòu)需要使用掃描電鏡(SEM)觀察,例如每一層陶瓷是否有缺陷,多層陶瓷的厚度是否均勻,作為電極的銀層是否覆蓋均勻,這些結(jié)構(gòu)影響著器件的使用壽命。

 

以下采用飛納臺式場發(fā)射掃描電鏡能譜一體機 Phenom Pharos 觀察多層壓電陶瓷內(nèi)部結(jié)構(gòu):

 

樣品制備,將多層壓電陶瓷使用導(dǎo)電膠固定在觀察斷面的樣品臺上

 

飛納電鏡采用低真空技術(shù),對不導(dǎo)電樣品,無需噴金,可直接觀察。飛納臺式掃描電鏡成像界面的右上角配置了彩色光學(xué)顯微鏡導(dǎo)航窗口,可以實時定位要觀察的樣品,結(jié)合全自動馬達樣品臺,點擊任意感興趣的位置,視野即可快速移動到該位置。

 

使用飛納臺式場發(fā)射電鏡能譜一體機 Phenom Pharos 觀察多層壓電陶瓷斷面

 

9 層壓電陶瓷內(nèi)部結(jié)構(gòu)

 

陶瓷層與中間的電極層界面結(jié)合情況

 

  

陶瓷層與中間的電極層能譜面掃結(jié)果,電極層主要成分是 Ag-Pd 合金

 

由于多層壓電陶瓷對工藝要求高,因此非常有必要使用掃描電鏡觀察,飛納操作簡單,效率高,樣品無需噴金可直接觀察,是強有力的工具。

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