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Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀（SAS）

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取”采樣技術(shù)的表面污染檢測工具，可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面（包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面）實現(xiàn)靈活采樣，且不會殘留可檢測的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)完成 225 mm2 采樣區(qū)域的分析，確?？焖佾@得精準(zhǔn)檢測結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對沉降顆粒進(jìn)行檢測，滿足跨行業(yè)復(fù)雜場景的檢測需求。

產(chǎn)品特點

• 符合 ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn)：在用戶界面生成具有認(rèn)證的 PDF 報告

• 檢測范圍：可檢測低至 0.5 um 顆粒

• 穩(wěn)定：90% 采集效率 | >90% 重復(fù)性

• 快速：10 秒完成檢測

數(shù)秒內(nèi)完成表面清潔度測量

快速: 成像僅需數(shù)秒

定量: 可溯源的定量化結(jié)果

操作簡便: 操作結(jié)果不受操作人員影響

? 用于產(chǎn)線質(zhì)量管控的即時判定

? 用于研發(fā)人員的進(jìn)一步數(shù)據(jù)分析

? 用于監(jiān)測、快速驗證和統(tǒng)計過程控制 

精準(zhǔn): 高分辨率測量（數(shù)量、位置、尺寸） 

穩(wěn)定: 多次測量結(jié)果高重復(fù)性 

高通量: 即時給出合格/不合格結(jié)果

儀器表面顆粒物分析儀（SAS）

該系該儀器通過采樣器間接測量表面顆粒污染水平。使用采樣器方便 用戶隨時在各種產(chǎn)品和組件上采集顆粒污染樣本。

使用采樣器進(jìn)行間接測量

使用采樣器甚至能對難以觸及的地方以及相對粗糙的表面進(jìn)行可 靠測量。采樣器（來自經(jīng)過認(rèn)證的供應(yīng)商）不會造成交叉污染。

分析儀能在數(shù)秒內(nèi)完成對采樣器的檢測，這使測試工作流程可控制 在一分鐘以內(nèi)。采樣器可放在采樣器支架中運(yùn)輸、重新測量和進(jìn)一 步分析。

具有多種采樣器選擇，包括用于間接檢測的粘取采樣器（含支架）和 用于落塵檢測的2英寸晶圓套件。

這種適應(yīng)性使其適用于跨多個行 業(yè)的不同測試場景，能提供可靠測量數(shù)據(jù)并深入洞察污染水平。