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推薦陶瓷:光刻機納米精度的“終極密碼”

中國粉體網(wǎng)訊 以光刻機為代表的集成電路核心裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物,涉及光學(xué)、材料學(xué)、計算機科學(xué)等40多個學(xué)科。在60余年的發(fā)展歷程中,光刻機(包括其零部件)不斷挑戰(zhàn)人類超精密制造裝備的極限,被譽為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”,[更多]

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