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陶瓷靜電吸盤

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中國粉體網(wǎng)訊 靜電卡盤又名靜電吸盤,廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中,特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中。目前普遍的靜電吸盤技術(shù)主要是以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料。陶瓷材料具有良好的導(dǎo)熱性,耐磨性及高硬度且對(duì)比金屬材[更多]

資訊 陶瓷靜電吸盤先進(jìn)陶瓷新型陶瓷半導(dǎo)體零部件精密陶瓷
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