中國(guó)粉體網(wǎng)訊 碳化硅制造裝備是碳化硅技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ),碳化硅單晶生長(zhǎng)爐的技術(shù)水平、工藝能力及自主保障是碳化硅材料向大尺寸、高良率方向發(fā)展的關(guān)鍵,也是牽引第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向低成本、規(guī);l(fā)展的主要因素。目前國(guó)內(nèi)主要的碳化硅[更多]
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