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拋光機理

推薦化學機械拋光,金剛石襯底材料高效制造的超精密武器

中國粉體網(wǎng)訊 近些年來,化學氣相沉積(CVD)單晶金剛石在電子學領域的應用令人矚目,這得益于CVD單晶金剛石在生長技術和半導體摻雜技術上的進展。一直以來,成熟的襯底加工技術是半導體材料得以應用的基礎,其中超精密拋光作為晶圓襯[更多]

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