推薦國產(chǎn)光掩膜基板，離“卡脖子”突圍還有多遠(yuǎn)？——訪上海光機(jī)所高端光電裝備部徐學(xué)科部長

中國粉體網(wǎng)訊 2025年3月27日，由中國粉體網(wǎng)主辦的2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)在江蘇東海隆重召開，會(huì)議期間，我們與中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高端光電裝備部的徐學(xué)科部長，對(duì)光掩膜基板工藝，其[更多]