推薦碳化硅的傳統(tǒng)化學(xué)機械拋光

中國粉體網(wǎng)訊 碳化硅（SiC）材料具有尺寸穩(wěn)定性好、彈性模量大、比剛度大、導(dǎo)熱性能好和耐腐蝕等性能，在現(xiàn)代工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。碳化硅結(jié)構(gòu)圖在半導(dǎo)體領(lǐng)域，利用其具有禁帶寬度、擊穿場強高和導(dǎo)熱性良好等特性，SiC成為繼第一代半導(dǎo)體[更多]