壓電超聲電機(jī)(USM)利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),通過(guò)高頻結(jié)構(gòu)振動(dòng)共振模式實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng),具有無(wú)齒輪直驅(qū)、響應(yīng)迅速、定位精度高、斷電自鎖、無(wú)電磁干擾以及易于微型化等顯著優(yōu)勢(shì),因此在高精度微機(jī)電系統(tǒng)、生物醫(yī)療設(shè)備、機(jī)器人手臂、顯微鏡平[更多]
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