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膜層特點: 膜層致密強,結(jié)合力高,均勻
設(shè)備特點: 設(shè)備運行中無任何有害氣體和廢液排放,對自然環(huán)境沒有污染;不銹鋼材質(zhì)牢固耐用
暫無數(shù)據(jù)!
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CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)(PDS)
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