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多弧離子鍍技術(shù)的工作原理主要基于冷陰極真空弧光放電理論。圖1為多弧離子鍍工作原理示意圖，點(diǎn)燃真空電弧后，陰極靶材表面上出現(xiàn)一些不連續(xù)、大小和形狀多樣、明亮的斑點(diǎn),它們?cè)陉帢O表面迅速地做不規(guī)則的游動(dòng)
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