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核心技術：
**磁浮Carrier導軌結合特殊導流氣體設計，降低微粒發(fā)生；
自主濺鍍線體設計，掌控in-line 腔體設計核心
可調式進出片時序控制與防撞片監(jiān)控系統，可配合不同使用規(guī)格需求客制化產能、膜厚搭配性。
先進性：
降溫腔體設計，解除翹曲顧慮；
陰極靶材冷卻設計，保證大功率長時間操作穩(wěn)定性佳。
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