國(guó)產(chǎn)碳化硅外延設(shè)備“打的火熱”
中國(guó)粉體網(wǎng)訊 外延工藝是整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)中非常關(guān)鍵的一環(huán),所有的器件基本上都是在外延上實(shí)現(xiàn),所以外延的質(zhì)量對(duì)器件的性能是影響非常大,同時(shí)外延的質(zhì)量又受到晶體和襯底加工的影響,所以外延環(huán)節(jié)在碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中起到承上啟下的關(guān)鍵作用。碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈近年來(lái),中國(guó)碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,已進(jìn)入快速成長(zhǎng)期。根