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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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一、設(shè)備簡(jiǎn)介
BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動(dòng)推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)，加熱區(qū)域長(zhǎng)度：1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。
二、技術(shù)參數(shù)
功率 | 3KW |
額定電壓 | AC 220V 50/60HZ |
**溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | 1100℃ |
推薦升溫速率 | 10℃/min |
空開大小（自備） | 2P 40A |
爐管尺寸 | 高純石英管Φ100*1400mm |
**滑動(dòng)距離 | 880mm |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
質(zhì)量流量計(jì) | 兩路500sccm+5000sccm |
機(jī)械泵 | 10m3/h |
設(shè)備凈重 | 約230Kg |
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