隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體材料的革新速度也進一步加快。當(dāng)前，碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲能等新興領(lǐng)域正快速滲透，已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點。同時，我國“十四五”規(guī)劃已將碳化硅半導(dǎo)體納入重點支持領(lǐng)域，碳化硅半導(dǎo)體將在我國5G基站建設(shè)、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數(shù)據(jù)中心等新基建領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。

近年來，我國在SiC材料領(lǐng)域取得了顯著進展，但與國際先進水平相比，在晶體生長技術(shù)、晶圓加工技術(shù)等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長過程中面臨著晶體缺陷控制、生長速率提升、晶體質(zhì)量穩(wěn)定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰(zhàn)。在當(dāng)前倡導(dǎo)節(jié)能減排的大趨勢下，快速穩(wěn)定地突破碳化硅單晶尺寸和質(zhì)量等關(guān)鍵問題，才能夠更好地占據(jù)未來碳化硅市場。

在此背景下，中國粉體網(wǎng)將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長及晶圓加工技術(shù)研討會，大會將匯聚國內(nèi)行業(yè)專家、學(xué)者、技術(shù)人員、企業(yè)界代表圍繞晶體生長工藝、關(guān)鍵原材料、生長設(shè)備及應(yīng)用、碳化硅晶片切、磨、拋技術(shù)等方面展開演講交流。蘇州博宏源設(shè)備股份有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

蘇州博宏源設(shè)備股份有限公司是專業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)單雙面研磨、拋光設(shè)備的高科技企業(yè)，公司總部設(shè)在經(jīng)濟發(fā)達(dá)的長三角經(jīng)濟圈的蘇州市渭塘鎮(zhèn)愛格豪路22號。在蘇州、蘭州設(shè)有研發(fā)中心，擁有各類機加設(shè)備近50臺套，檢測儀器、儀表20余臺套，廠房11100余平方米。

公司主要從事高精密的單、雙面研磨，拋光設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售，自主研發(fā)的產(chǎn)品有：32B、28B、24B、22B、20B、18B、16B-5、16B-8、13.9B、13B、15B、16S、9B、6B、485、360等單、雙面研磨、拋光機、數(shù)控48工位CNC手機面板（玻璃、藍(lán)寶石）高精度外形加工設(shè)備及面板自動倒邊機。主要用于藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、手機面板、觸摸屏、光學(xué)光電子、液晶玻璃、半導(dǎo)體、各類晶體、金屬等硬脆材料的單、雙面高精度的研磨、拋光加工。

公司致力于集設(shè)備、工藝、輔料為一體的設(shè)備銷售業(yè)務(wù)；提供國內(nèi)外各廠商生產(chǎn)的研磨，拋光機的備件（齒圈，太陽輪，研盤，齒輪等）銷售業(yè)務(wù)，承攬各類研、拋設(shè)備的大修業(yè)務(wù)。我們將竭誠為客戶提供性價比優(yōu)的產(chǎn)品、快捷的貨期及時、周到的服務(wù)。

公司憑借雄厚的技術(shù)力量、可靠的產(chǎn)品質(zhì)量及售后服務(wù)體系，在國內(nèi)外擁有多家客戶，同時還出口到日本、越南、臺灣等國家和地區(qū)。

產(chǎn)品介紹

1、SP50-4DU單面拋光機

一、產(chǎn)品用途、適用范圍及特點

本機主要用于藍(lán)寶石片狀材料的單面拋光以及其它硬脆材料平行平面的單面高精度、高效率拋光。

該機采用觸摸界面及PLC控制。為用戶提供開放式的圖形操控界面，充分發(fā)揮機械硬件性能；該機主傳動具有傳動鏈短、穩(wěn)定可靠等特點；四個上拋頭主動旋轉(zhuǎn)，壓力控制采用電氣比例閥任意設(shè)定，且每個頭均可單獨控制；上下拋盤均采用循化冷卻水強制冷卻，溫度控制精確。

二、設(shè)備傳動結(jié)構(gòu)及布局 

Ø 主軸系統(tǒng)位于設(shè)備的下方，由電機通過窄V帶拖動蝸輪蝸桿減速箱，減速箱與軸直連保證了其運轉(zhuǎn)精度, 下盤采用交叉磙子軸承定位支撐，運轉(zhuǎn)剛度和精度都得到了良好的保障，下盤軸下部裝有旋轉(zhuǎn)接頭，用于拋盤內(nèi)通冷卻水；

Ø 上拋光系統(tǒng)位于設(shè)備的上部，上拋光頭的升降及加壓由氣缸實現(xiàn)，上盤設(shè)有冷卻水通路用于上拋頭的冷卻，上拋頭的旋轉(zhuǎn)由減速電機通過齒輪直接驅(qū)動；

Ø 在下拋盤中間設(shè)有可升降的一個中間導(dǎo)輪裝置，在接液盆邊緣部位設(shè)有四個外導(dǎo)輪裝置，二者配合可實現(xiàn)工件盤的自動定位；

Ø 在設(shè)備的上部橫梁正面設(shè)有主操作面板，可進行參數(shù)設(shè)定，運行監(jiān)控等功能，在橫梁的側(cè)面各有兩個小操縱板用于上拋頭的升降操作；

Ø 在設(shè)備后部箱體上裝有液路裝置，設(shè)有上下盤冷卻水、拋光液、清洗水的通路；

Ø 在設(shè)備的前部箱體與橫梁兩側(cè)裝有前立柱，用于橫梁的輔助支撐，立柱高度方向各微調(diào)；

Ø 在箱體的右側(cè)設(shè)有兩個加油口，用于主軸兩組軸承的潤滑；

Ø 在橫梁上裝有紅外測溫裝置，用于拋盤盤面溫度的監(jiān)測；

Ø 在下拋盤的外側(cè)設(shè)有可滑動的防護罩，可防止工作液的飛濺，減少有害氣體的溢出；

2、18BF-4M7D/P雙面平面研磨機/拋光機

一、主要用途

主要用于藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、陶瓷片、晶體、半導(dǎo)體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光。

二、產(chǎn)品特點

1、壓力精密控制：PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力閉環(huán)控制;

2、上盤減震裝置：動靜態(tài)均適用的減震彈性連接方式;

3、下盤支撐：高精度平面流體軸承支撐;

4、銷齒傳動：內(nèi)外齒采用銷齒傳動，延長載體使用壽命，維護便捷;

5、上、下盤水冷系統(tǒng)：上、下盤采用水冷結(jié)構(gòu)，進行溫度控制實現(xiàn)大壓力加工;

6、上盤壓力：最大1000kg;

7、傳動系統(tǒng)：四電機同步拖動，上下盤、內(nèi)齒、外齒、(即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定，縣有配方功能。

3、SP19-5T（2.5D/3D）高速弧面棱邊精密拋光機

一、主要用途：

本設(shè)備主要用于2.5D/3D手機視窗玻璃、藍(lán)寶石片、計算機觸摸屏、光學(xué)玻璃等非金屬硬脆材料的棱邊及弧面拋光加工。

二、產(chǎn)品特點：

采用高精密壓力控制（PLC+PT +電氣比例閥+壓力傳感器實現(xiàn)壓力控制）毛刷與工件相對高度，大大提高加工效率與良率，去除速率高，掃光時間短；設(shè)備具有真空吸附、釋放、自動排水及沖水通道清理功能，使得工件裝夾可靠，取放工件操作方便快捷。

會務(wù)組

聯(lián)系人：段經(jīng)理

電話：13810445572

郵箱：duanwanwan@cnpowder.com

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