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SJ6000機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線性測量應(yīng)用

SJ6000機(jī)床激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

動態(tài)測量概述

SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測。

動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

位移-時間曲線

速度-時間曲線

加速度-時間曲線

振幅-頻率曲線

動態(tài)測量應(yīng)用

1、基于時間的動態(tài)測量

機(jī)器運(yùn)動控制性能評價：

(1)運(yùn)動控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置

(2)動后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評價

(3)能運(yùn)動控制器的微小步幅的測試

振動監(jiān)視

(1)掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

(2)機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動的高質(zhì)量表面精加工

振動頻率分析

(1)被測對象的振動頻率分析

(2)FFT快速傅立葉變換分析

2、基于距離的動態(tài)測量

基于距離的動態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量，即運(yùn)動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

3、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）SJ6000機(jī)床激光干涉儀支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測量軟件

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。