參考價(jià)格
面議型號(hào)
LD系列單端連續(xù)芯片鍍膜生產(chǎn)線品牌
辰皓真空產(chǎn)地
湖南樣本
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設(shè)備特點(diǎn)
成膜好:采用磁控濺射方式,沉積速率快,膜層均勻致密、內(nèi)應(yīng)力小;
擴(kuò)展強(qiáng):采用模塊化設(shè)計(jì),根據(jù)不同的工藝要求,可以靈活配備鍍膜腔體;
適用廣:設(shè)備可以配備不同的磁控陰極,如圓柱靶、平面靶、圓片靶;
產(chǎn)量大:連續(xù)鍍膜產(chǎn)線,生產(chǎn)效率高。
應(yīng)用領(lǐng)域
可用于半導(dǎo)體表面制備各類金屬薄膜。
暫無數(shù)據(jù)!