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*小流量：20 SCCM **流量：500 SLPM
E100氣體層流質(zhì)量流量計與在原有的M100系列做了產(chǎn)品的升級，通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補償及**核心算法，在低零點、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。同時，內(nèi)置多種氣體和混氣設置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實現(xiàn)流量的精確測量。
*小流量：20 SCCM **流量：500 SLPM
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