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IoN 100 是一種筒式等離子體反應(yīng)器，專為研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計。該技術(shù)基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla 在50 多年的時間里開發(fā)的經(jīng)過驗證的反應(yīng)器設(shè)計。IoN 100 使用更大的機箱，提供所有氣體和電源連接。

功能包括：

即插即用自安裝

柔性電極

帶液晶觸摸屏和鍵盤的工業(yè)計算機。

基于Windows 的操作系統(tǒng)。

圖形用戶界面(GUI) 軟件符合

CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101

多級用戶訪問

軟件

用于快速和多功能步驟控制的配方編輯器

板載診斷功能和報警記錄

通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程過程監(jiān)控

基于網(wǎng)絡(luò)的在線模擬/培訓(xùn)/支持

機箱上的泵電源插座

節(jié)能功能—泵控制

典型應(yīng)用：

表面清潔

表面活化

表面功能化

矽氧烷和有機薄膜的沉積