參考價(jià)格
面議型號(hào)
TaC涂層專用特種石墨基材品牌
華錦新材產(chǎn)地
山東樣本
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概況
華錦新材公司生產(chǎn)的TaC涂層專用特種石墨基材,能與TaC涂層的熱膨脹在不同溫度下(20-200℃:5.9*10-6/K;20-600℃:6.3*10-6/K;20-1600℃:7.1*10-6/K)高度匹配,**解決了多次升降溫引起的涂層開(kāi)裂和剝落等問(wèn)題,有效提高工件的服役時(shí)間。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
相較SiC涂層石墨,新一代的TaC涂層石墨的高溫耐腐蝕性、服役時(shí)間以及抑制雜原子遷移能力明顯提升,使用溫度由900-1500℃擴(kuò)展到**2400℃,應(yīng)用場(chǎng)景由半導(dǎo)體單晶的同質(zhì)/異質(zhì)外延擴(kuò)展到半導(dǎo)體晶圓生長(zhǎng)(籽晶托架、導(dǎo)流筒、石墨坩堝、導(dǎo)流環(huán))等領(lǐng)域。涂層材料的變革對(duì)石墨基材的熱膨脹系數(shù)、電學(xué)與化學(xué)穩(wěn)定性、表面粗糙度、機(jī)械強(qiáng)度及熱導(dǎo)率提出了更高要求。
在高均勻溫度場(chǎng)中的處理溫度超過(guò)2400℃,華錦新材碳化鉭涂層石墨基材在電學(xué)與化學(xué)穩(wěn)定性大幅度提高,材料均質(zhì)性明顯改善,**密度差≤0.01g/cm3,電阻率≤10μΩm。
公司產(chǎn)品原料為超細(xì)顆粒,熱處理過(guò)程中,顆粒通過(guò)熔并一體化燒結(jié),實(shí)現(xiàn)高度致密化,且平均密度值達(dá)到1.92g/cm3,平均孔徑≤0.4μm,開(kāi)孔率≤12%,相比傳統(tǒng)石墨,表面粗糙度與加工性能明顯提升。公司產(chǎn)品制備工藝精確控制,微觀結(jié)構(gòu)致密均勻、內(nèi)部缺陷明顯降低,承受的極限外應(yīng)力大幅度提高,使批量化產(chǎn)品的抗折強(qiáng)度≥80MPa,優(yōu)級(jí)品抗折強(qiáng)度≥85MPa。
公司產(chǎn)品采用超長(zhǎng)時(shí)間熱處理工藝,晶體結(jié)構(gòu)完善,La,Lc值優(yōu)化,平均石墨化度≥80%,熱導(dǎo)率≥145W/m*K。
性能參數(shù)
牌號(hào) | 體積密度(g/cm3) | 熱膨脹系數(shù)(10-6/K) | 電阻率(μΩm) | 平均孔徑(μm) | 總孔隙率(%) | 抗彎強(qiáng)度(MPa) | 熱導(dǎo)率(W/m*K) |
HJ-Ta-1 | 1.93 | 6.3(20~600℃) 7.1(1600℃) | 10-11 | ≤0.4 | <12 | 80-85 | ≥120 |
HJ-Ta-2 | 1.95 | 6.3(20~600℃) 7.1(1600℃) | 10 | ≤0.3 | <11 | 85-90 | ≥145 |
暫無(wú)數(shù)據(jù)!