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產品介紹：
放置 SiC 襯底，用于生長 SiC 外延片
適用機型：
SiC 外延水平6吋&8時機臺
產品參數：
基材：等靜壓石墨（純度 >6N）
特點：純度高，熱均勻性好
使用壽命：>1500um
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