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化學(xué)機械拋光(CMP)幫助平滑晶圓表面，是VLSI制造的一個重要部分。化學(xué)機械拋光墊修整對于保證穩(wěn)定的CMP研磨是必要的。我司提供各種CMP修整器滿足不同的晶圓形狀和規(guī)格。
產(chǎn)品特點
化學(xué)機械拋光(CMP)幫助平滑晶圓表面，是VLSI制造的一個重要部分?；瘜W(xué)機械拋光墊修整對于保證穩(wěn)定的CMP研磨是必要的。我司提供各種CMP修整器滿足不同的晶圓形狀和規(guī)格。
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