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M82 750B 6K品牌
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技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 數(shù)據(jù) |
| 設(shè)備型號(hào) | M82 750B 6K |
| 操作系統(tǒng) | SXG-MPCVD控制系統(tǒng) |
| 微波頻率 | 2450MHz,輸出功率：6KW |
| 反應(yīng)腔 | 承載功率≦10KW |
| 生長(zhǎng)臺(tái) | Φ2英寸 |
| 工作壓力 | 10-200Torr |
| 標(biāo)準(zhǔn)氣路 | 5路/6路（可定制） |
| 測(cè)溫系統(tǒng) | 紅外測(cè)溫，測(cè)溫范圍300～1400℃ |
| 系統(tǒng)真空密封性（氦質(zhì)譜撿漏） | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泵 | 17.1 m3/H |
| 設(shè)備尺寸 | 1500MM（長(zhǎng)）*800MM（深）*1980MM（高） |
| 設(shè)備重量 | 490KG |
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