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外延及LED涂層石墨盤品牌
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外延設備在現(xiàn)代半導體行業(yè)中是關鍵的一環(huán)，在LED關鍵設備MOCVD及化合物半導體外延設備中，東海碳素的碳化硅SiC及碳化鉭TaC涂層石墨盤被廣泛應用。
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