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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)品牌
科冪產(chǎn)地
安徽樣本
暫無非金屬電熱元件：
硅鉬棒金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
1150℃額定溫度：
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高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長(zhǎng)溫度更低。
| 項(xiàng)目 | 型號(hào) | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| **溫度 | 1150℃（短期） | |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm | |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 80mm | |
| 加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲 | |
| 額定功率 | 3KW | |
| 供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
| 射頻電源 | 射頻功：5-500W； 射頻頻：13.56MHz； 匹配方式：自動(dòng)匹配 | |
| 真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等） | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
暫無數(shù)據(jù)！
馮浩老師課題組南京理工大學(xué)1、老師簡(jiǎn)介馮浩老師是南京理工大學(xué)能動(dòng)學(xué)院教授，主要從事先進(jìn)能源轉(zhuǎn)化與儲(chǔ)存技術(shù)、多相反應(yīng)流傳熱傳質(zhì)等方面的研究工作。研究成果以第一/通訊作者在Advanced Energy
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