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| 加工料尺寸范圍 | Φ4~12英寸 / L100mm | 切片TTV | ≤30μm |
| 平均切割速度 | 0.3mm/min | 設備重量 | 5.5t |
| 切割工藝設定步數(shù) | ≥30 步 | 水箱容積 | 110L |
| 鋼線張力 | 0~110N(0.25線張力為45N) | 設備尺寸 | 2480x2250x2160mm(長x寬x高) |
| 鋼線線速度 | 0~30m/S | 設備總功率 | 50kw |
| 金剛線線徑 | ≥0.18mm | 切割斷線率 | ≤1% (人為原因，硅料、線、維護等原因除外) |
1、設備可以使用30m/s的高線速度穩(wěn)定切割，切割效率高，產出比高;
2、設備可以選擇旋轉、料搖擺加工方式，更好的實現(xiàn)工藝的多種需求;
3、設備的加工精度高，截斷樣片的TTV均值30μm以內，遠超同行業(yè)水平;
4、設備可以穩(wěn)定使用0.18mm金剛線，張力控制精準，細線化在料損.上控制非常優(yōu)秀;
5、設備使用匯川控制器，配置高精度伺服電機13個;
6、收放線系統(tǒng)排布在設備左右兩側，有效降低振動產生的影響，大幅度提升加工精度;
7、內防護全部采用不銹鋼材料；床身采用鑄鐵材料，剛性好，精度穩(wěn)定；
8、具備掏棒功能，大尺寸改小尺寸；
9、取樣片后可以直接進行減薄，表征晶體簡單快捷。
暫無數(shù)據(jù)！
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