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該設(shè)備為RTP快速升溫爐，加熱元件為紅外燈管，可快速升降溫。內(nèi)置移動(dòng)導(dǎo)軌，并有電極帶動(dòng)再導(dǎo)軌上滑動(dòng)，三溫區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，配合自動(dòng)化程序控制，可實(shí)現(xiàn)樣品在不動(dòng)條件下的自動(dòng)化移動(dòng)和蒸鍍處理。

技術(shù)參數(shù)

加熱部分：

爐膛模式：前后移動(dòng)開啟式爐膛（三個(gè)工藝爐膛）

顯示模式：10 英寸觸摸屏

加熱元件：短紅外波燈管，上下水平面獨(dú)立加熱

工作溫度：≤750℃

升溫速率：≥15℃/s（空爐）

樣品移動(dòng)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)，速度可調(diào)

溫區(qū)長度：200mm（恒溫區(qū) 100*100mm）

溫度均勻性：≤±2℃

工藝位溫降；≤30℃

快速降溫；≥3℃/S（空爐）

爐管規(guī)格  ：Φ150*1200 mm

控溫精度：±1℃

密封方式：快速法蘭密封

儀表補(bǔ)償：室溫自動(dòng)補(bǔ)償

溫度曲線：30 段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

測溫元件：K 型鎧裝熱電偶（Omega）

爐膛材料：氧化鋁纖維

外形尺寸  ：1450*700*1000MM長*寬*高

整機(jī)功率：單個(gè)溫區(qū) 12kw，共計(jì) 36KW

電源參數(shù)：380V 50Hz

樣品移動(dòng)：伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)剛玉推桿帶動(dòng)基板移動(dòng)

運(yùn)行軌道：鉬軌道

推桿速度：可調(diào)

導(dǎo)軌水平度：≤1mm/m

推桿定位誤差：≤1mm

防撞措施  ：超力矩推不動(dòng)，急停按鈕

蒸發(fā)距離：樣品下平面和坩堝上平面間距≦2mm,可根據(jù)需要調(diào)節(jié)

速度誤差  ：≤1%

抽真空能力：大氣到≤5Pa 小于 15min（空爐）

氣壓范圍：10 -3Pa～10 5Pa，機(jī)械泵極限≤5Pa

泄漏率：≤5 -4（Pa*m 3/s）

真空計(jì)范圍：大氣到 10 -5Pa，**分辨率 0.01Pa

氣路系統(tǒng)：按照工藝要求定制