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PVD載盤(pán)品牌
華信工業(yè)產(chǎn)地
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碳化硅PVD載盤(pán)經(jīng)等靜壓工藝成型、高溫?zé)Y(jié)而成。亦可根據(jù)用戶設(shè)計(jì)圖紙要求進(jìn)行外徑、厚度尺寸，穴位數(shù)量、尺寸、取片槽位置和形狀進(jìn)行精加工，以滿足用戶的具體使用要求
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
高致密性
良好的導(dǎo)熱性、低膨脹系數(shù)和均溫性能
耐電漿沖擊性
耐各種強(qiáng)酸強(qiáng)堿化學(xué)試劑腐蝕
經(jīng)過(guò)半導(dǎo)體級(jí)別清洗
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華信工業(yè)與國(guó)內(nèi)某大型光伏巨頭合作開(kāi)發(fā)大尺寸碳化硅/碳陶融滲硅用真空爐，設(shè)備凈尺寸達(dá)到φ3500×7500mm，加熱溫度1800℃。同時(shí)，可以根據(jù)用戶需求定制開(kāi)發(fā)。華信工業(yè)具備完善的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，包括機(jī)械設(shè)
2025-07-04
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