生產能力：
-加料機類型：
其他空氣速度：
-輸送能力：
-輸送距離：
-工作原理：
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設備的應用及特點：
本設備采用水平流片的方式，無插拔，無劃傷，適合210mm大硅片生產，能幫助客戶提高電池良率。
拉普拉斯等離子體增強原子層沉積水平鍍膜自動上下料系統(tǒng)為在線式全自動上下料設備，具備AGV對接和MES等選配功能。
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