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UGA系列氣體分析儀

**技術(shù)的質(zhì)譜分析儀，壓強(qiáng)測(cè)試范圍從大氣到超高真空壓強(qiáng)，是在線監(jiān)測(cè)和混合氣體分析的理想設(shè)備。無論檢測(cè)受限制的污染物，溶劑，氫化物，制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA都能勝任。UGA的應(yīng)用包括半導(dǎo)體尾氣檢測(cè)，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測(cè)，污染檢測(cè)，發(fā)酵研究和簡(jiǎn)單真空分析。

UGA系列氣體分析儀自帶windows軟件，實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)和圖形化顯示，操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時(shí)間關(guān)系圖、檢漏測(cè)試、氣體分析和在線分析。標(biāo)準(zhǔn)的GPIB和RS232接口方便與計(jì)算機(jī)連接控制。

UGA系列氣體分析儀包含三種質(zhì)譜范圍：分辨是100amu、200amu、300amu。

詳細(xì)參數(shù)如下：?入口類型 1 to 760Torr 不銹鋼和毛細(xì)管 10^?1 to 10^?4 Torr 1/8" to 1/4" 管型通道<10^?4 Torr 2.75"CF法蘭流量 1 to 10 毫升/分鐘（標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下）?質(zhì)譜儀器類型四極（RGA）探測(cè)器法拉第杯和電子倍增管質(zhì)譜范圍 100， 200 or 300 amu分辨率 Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)探測(cè)極限 Less than 1 ppm工作壓力 5 × 10^?6Torr

?系統(tǒng)高真空泵渦輪分子泵隔膜泵超低壓隔膜泵