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石墨烯制備CVD系統(tǒng)
石墨烯制備CVD系統(tǒng)

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先進(jìn)的 2D合成材料集成系統(tǒng)CVD

設(shè)維材料合成尺度從芯片到晶體,包括石墨烯,h-BN的合成,TMDCs不同襯底上采用氣相或固相前驅(qū)體和有機(jī)金屬(鉬)。

系統(tǒng)特點(diǎn):

快速加熱和冷卻的可移動(dòng)電機(jī)控制的加熱器(**)

TCVD100平臺(tái):超過(guò)5年,全球100套系統(tǒng)的**性能表現(xiàn)

全部制樣過(guò)程提供現(xiàn)場(chǎng)安裝服務(wù)

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