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Mono- and Multi-crystalline wafer lifetime measurement device

應(yīng)用范圍：用于精密材料研發(fā)的單晶和多晶片的壽命測(cè)量

特性

●靈敏度：外延片不可見(jiàn)的缺陷和檢測(cè)的 靈敏度的可視化

●測(cè)量速度：6英寸硅晶圓片，1mm分辨率 ，小于5分鐘

●使用壽命: 20納秒到幾毫秒

●污染測(cè)定：源自爐和設(shè)備的金屬(Fe)污染

●測(cè)量能力：從初始切割的晶圓片到完全加工的樣品

●靈活性：固定測(cè)量頭允許外部激光與觸發(fā)器耦合

●可靠性： 模塊化和緊湊的臺(tái)式儀器，更高的可靠性和正常運(yùn)行時(shí)間> 99%

●重現(xiàn)性： > 99.5%

●電阻率：不需要頻繁校準(zhǔn)

用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活檢測(cè)工具

MDPmap是一個(gè)緊湊的臺(tái)式無(wú)觸點(diǎn)電子特性的離線生產(chǎn)控制或研發(fā)的工具?？蓽y(cè)量參數(shù)如載流子壽命、光電導(dǎo)性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵(lì)磁(μ-PCD)。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置可以方便地適應(yīng)各種不同的樣品，包括在不同的制備階段，從生長(zhǎng)的晶圓片到高達(dá)95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。。

MDPmap的主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性，它允許集成*多4個(gè)激光器，用于從超低注入到高注入的依賴于注入水平的壽命測(cè)量，或者使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。包括偏置光設(shè)施以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件的選項(xiàng)?？梢允褂貌煌膱D進(jìn)行客戶定義的計(jì)算，也可以導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步的評(píng)估。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量任務(wù)，可用一個(gè)預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn)，使常規(guī)測(cè)量只需按一個(gè)按鈕。